Компания SABIC Innovative Plastics представляет новые ультрачистые компаунды Stat-Loy

Шанхай, Китай

Так как потребителю от изделий электроники требуется все бо́льшая мощность и функциональность, полупроводниковая промышленность стремится вместить как можно больше функций в имеющиеся электронные микросхемы. Появилась новая технология производства полупроводниковых кристаллов – фотолитография с использованием лазера на основе фторида аргона (ArF). Однако, внедрение ArF-лазеров сдерживается недостатком достаточно «чистых» пластиков, используемых для производства защитных кассет для техпроцесса производства ИС. Для решения этой проблемы отделение специализированных компаундов LNP компании SABIC Innovative Plastics разработало серию ультрачистых прозрачных компаундов Ultra-Pure Transparent (UPT) Stat-Loy 63000CT. При использовании в приспособлениях для защиты полупроводниковых пластин компаунды UPT Stat-Loy могут предотвратить повреждения вследствие дегазации, которая может вызвать загрязнение подложек, увеличить процент брака и повысить издержки.

Отвечая требованиям рынка

Производство ИС требует обязательного выполнения требований чистых помещений. Так как степень интеграции все время увеличивается, эффект от загрязнений вследствие дегазации пластиков становится все более значимым. Если летучие органические соединения или выщелачиваемые ионы достигнут поверхности кремниевой пластины, фотошаблонов или фотооригиналов, они могут повредить устройство или нарушить его функционирование. Использование мощных ArF-лазеров делают пластины и контейнеры еще более чувствительными к повреждению вследствие дегазации.

«Недостаток доступных материалов для изготовления кассет вот уже в течение многих лет является препятствием для внедрения ArF-лазеров, – отметил Ео Аун Нуа (Yeo Aun Hua), менеджер по продукции LNP компании SABIC Innovative Plastics. – Отметив, что переход на эту новую технологию крайне важен для производителей ИС, компания SABIC Innovative Plastics заранее разработала линейку компаундов UPT Stat-Loy 63000CT с целью устранить основную помеху в деле миниатюризации компонентов. Наши усилия в области исследований и разработки, а также вклад в инновационные технологии помогут производителям ИС внедрить ArF-лазеры, что обеспечит создание сверхминиатюрных кристаллов по нормам 45 нм и менее».

Компания Gudeng Precision Industrial Co. Ltd стала одним из крупнейших мировых производителей ультрачистых кассет для хранения/транспортировки фотошаблонов и оборудования для очистки фотооригиналов, предназначенных для фотошаблонов с фазовым сдвигом и фотооригиналов высокотехнологичных устройств. По словам технического директора этой компании, д-ра Пошин Ли (Dr. Poshin Lee), «Stat-Loy 63000CT – отличный материал для исготовления современных и будущих приспособлений для транспортировки фотошаблонов/пластин на предприятиях. Он отвечает строгим требованиям по чистоте и обеспечивает меньший риск загрязнений в процессе транспортировки внутри предприятия».

Под торговой маркой TAC Carrier компания Sakase Chemical Co., Ltd разработала новые кассеты для транспортировки компонентов, не соответствующих стандарту JEDEC, включая прецизионные, содержащие микрокомпоненты, а также тонкопленочные кристаллы ИС, с которыми часто трудно обращаться по причине их нестандартной формы и конструкции. По словам Икуо Кониши (Ikuo Konishi), генерального менеджера отдела разработок, «сочетая компаунд Stat-Loy 63000CT – который обеспечивает антистатические свойства и обладает сверхвысокой степенью чистоты – и адгезивный реагент Kaneka, мы смогли разработать новую линейку продукции для манипулирования сложными в обращении и нестандартными по JEDEC компонентами, включая MEMS, линзы, кристаллы, полупроводниковые пластины, а также прецизионные детали, с крайне низким риском их загрязнения. Мы оборудовали чистое помещение для перехода на коммерческий выпуск продукции из материалов UPT и Kaneka, и начнем производить эти разработанные нами транспортировочные кассеты для ведущих производителей Японии».

Ультра-низкая дегазация увеличивает процент выхода годных ИС

Компания SABIC Innovative Plastics расширила существующую линейку LNP Stat-Loy компаундами серии Stat-Loy 63000CT, который являются ультрачистыми, прозрачными, обеспечивающими постоянные антистатические свойства материалами, демонстрирующими ультранизкий уровень дегазации летучих органических веществ и низкий уровень выщелачиваемых ионов. Например, прозрачный антистатический полиметилметакрилат (PMMA) имеет высокий уровень дегазации, приводящий к образованию тумана. Непрозрачные саженаполненные компаунды делают невозможным проверку соответствия кодовых номеров фотооригинала или фотошаблона с номерами на коробке без необходимости открытия контейнера. Как утверждает производитель, компаунды UPT Stat-Loy 63000CT обеспечивают исключительную чистоту, прозрачность и электропроводность.

Более того, как утверждает разработчик материала, конструкция на основе поликарбоната имеет в 20 раз большую ударопрочность по сравнению с другими материалами на рынке.

Новый материал также может быть окрашен в практически любой цвет в процессе отливки, включая диапазон цветов с эффектами специальных пигментов. Как утверждает производитель, компаунды серии UPT Stat-Loy 63000CT – отличные кандидаты на изготовление защитных кассет для фотошаблонов, фотооригиналов и полупроводниковых пластин, контейнеров для кристаллов и MEMS, а также держателей для процессов обработки.

Более подробная информация – на сайте производителя, компании SABIC Innovative Plastic: www.sabic-ip.com.

Информация с сайта www.circuitnet.com.