Японские ученые изобрели новую технологию очистки

Японские ученые во главе с Тошиюки Санада (Toshiyuki Sanada) разработали технологию очистки, в которой используется лишь вода, и абсолютно нет химикатов.

Данная технология одновременно впрыскивает воду и пар. Используя водяной пар, который обладает высоким конденсационным эффектом, становится возможным эффективно размочить даже ультрамикроскопическую поверхность. Технология может быть применена для удаления инородных частиц размером в несколько нанометров, не повреждая при этом сам объект очистки.

Существующие технологии применяют разного рода химикаты, которые по отдельности очищают светочувствительные пленки, полимеры и т.п. Технология Санады позволяет очищать абсолютно любые поверхности, значительно сокращая затраты. При этом производительность может быть значительно улучшена путем добавления небольшого количества химикатов.

Санада ожидает, что его технология будет использована для очистки полупроводниковых пластин, печатных плат, оптических линз, больших стеклянных пластин, медицинской аппаратуры, а также продуктов питания и домашних вещей.

Стоит отметить, что данный метод особо эффективен для очистки при производстве полупроводниковых устройств, поскольку существующие технологии не обладают достаточной стабильностью и применяют слишком много химикатов.

Информация с сайта www.3dnews.ru со ссылкой на techon.nikkeibp.co.jp.

Автор оригинального текста: Валентин Раш.