Рекордные диапазоны перемещений для семейства координатных столов на основе пьезодвигателей изгибного типа, предназначенных для наноразмерного позиционирования

Фото с сайта www.global-electronics.net

Компания PI (Physik Instrumente) расширила свою линейку PIHera компактных X, XY и Z-координатных столов на основе пьезодвигателей изгибного типа для наноразмерного позиционирования: теперь они обеспечивают рекордные диапазоны перемещений – до 1,8 мм.

Нанометровая точность для операций контроля качества, диапазоны перемещений от 50 до 1800 мкм

Эти прецизионные координатные столы с замкнутой обратной связью могут использоваться в сканирующих головках на операциях измерений поверхностей, а также для статического позиционирования. Большинство столов линейки PIHera® обеспечивают суб-нанометровую дискретность, и даже 1,8-мм версии достигают дискретности 3 нм в операциях с замкнутой обратной связью. Их компактный размер достигается благодаря новой чрезвычайно жесткой изгибной системой без наличия трения, которая также обеспечивает быстрый отклик и исключительную точность отработки траектории.

Траекторная точность обеспечивается на уровне нижнего нанометрового диапазона. Высокие значения ускорений реализуются благодаря запатентованной долговечной конструкции многослойных пьезоэлектрических линейных приводов. Возможность контролировать перемещения с миллисекундной оперативностью и нанометровой точностью в диапазоне длинных перемещений делают столы линейки PIHera® хорошо подходящими для применения на операциях контроля качества.

Емкостная обратная связь обеспечивает отличную линейность перемещений

Координатные столы оснащены бесконтактными емкостными датчиками и имеют пониженное значение ошибки линейности перемещений – до 0,02% – при поддержании дискретности в суб-нанометровом диапазоне. Как утверждает разработчик, ёмкостные датчики PI являются устройствами с абсолютным отсчётом и непосредственным измерением, они обеспечивают исключительно широкую полосу частот и не имеют периодических ошибок.

Типичные сферы применения

Сканирующая измерительная микроскопия, биотехнологии, метрология поверхности, контроль качества, нанометрология, интерферометрия, позиционирование в наноразмерном диапазоне, полупроводниковые технологии.

Особенности и преимущества

нет износа: приводы изгибного типа и датчики являются необслуживаемыми;
более длительный срок службы благодаря запатентованной конструкции пьезоприводов, инкапсулированных в керамическую структуру;
не испытывающие трения, необслуживаемые, прецизионные направляющие устройства;
диапазоны перемещений от 50 до 1800 мкм;
X, XY и Z-варианты координатных столов;
цифровое и аналоговое управление с замкнутой обратной связью, обеспечивающие точность позиционирования до 99,98%;
варианты исполнения для работы в вакууме;
жесткая и компактная конструкция, обеспечивающая отклик в течение миллисекунд;
дискретность менее 1 нм;
емкостные датчики с непосредственным измерением для обеспечения быстрого отклика сервосистемы;
гибко настраиваемые контроллеры и программное обеспечение: высокая скорость; цифровое и аналоговое управление.

Разнообразные контроллеры со сверхмалым уровнем шума и наличием как аналогового, так и цифрового входа обеспечивают быструю связь и поставляются с широким набором программных средств.

Информация с сайта www.global-electronics.net.