Автоматическая инспекция полупроводниковых пластин с помощью установки MX100IR производства компании Viscom

Фото с сайта www.viscom.com

Начиная с сентября 2007 года, компания Viscom расширяет свою линейку продукции с целью включения в нее решений по проведению инспекции полупроводниковых пластин и, таким образом, распространения на эту сферу качества своих решений в области технологии поверхностного монтажа. Как утверждает разработчик, настольная система MX100IR особенно хорошо подходит для проведения надежного и гибкого процесса инспекции небольших партий продукции.

MX100IR предназначена производителем для проведения инспекции пустых подложек, полупроводниковых кристаллов, MEMS-компонентов, соединенных пластин, КНИ-структур и компонентов flip chip. Она также может применяться в производстве фотогальванических элементов. Пластины могут быть изготовлены из кремния, арсенида галлия или сочетания материалов III-IV группы. Так как загрузка пластин осуществляется вручную, данная модель преимущественно предназначена для проведения инспекции небольших партий продукции.

Основой запатентованной технологии Si-Thru™ являются источники освещения, которые генерируют высокоэффективный световой поток в диапазоне, близком к инфракрасному излучению. Кремний при его легировании большинством типов примесей прозрачен для излучения этой длины волны и, таким образом, даже располагающиеся под поверхностью подложки дефекты могут быть легко обнаружены. Как утверждает разработчик, эти высокоэффективные источники света являются масштабируемыми по интенсивности и гарантируют высокую разрешающую способность.

Графический пользовательский интерфейс обеспечивает, по словам производителя, быстроту и легкость создания программ и обслуживания оборудования. Процесс распознавания дефектов базируется на специализированных алгоритмах инспекции, которые позволяют точно локализовать такие дефекты, как наличие пустот, определить ширину трещин и т.д. Также возможно полное статистическое управление процессом.

Информация с сайта www.viscom.com.