Новый сканирующий электронный микроскоп MultiBeam SEM/FIB с фокусированным пучком ионов от компании JEOL USA позволяет осуществлять одновременное ионное микротравление и формирование изображений высокого разрешения

Фото с сайта smalltimes.com

Новый мощный сканирующий электронный микроскоп MultiBeam SEM/FIB сочетает в себе возможности микротравления посредством фокусированного пучка ионов с формированием изображений высокого разрешения при помощи колонны электронного микроскопа JEOL LaB6. Компания JEOL разработала MultiBeam в качестве высокопроизводительного инструмента для анализа дефектов ИС, изменения электрических схем, приготовления тонкопленочных образцов для трансмиссионной электронной микроскопии и ремонта фотошаблонов.

Особенностью этого моноблочного устройства является система Serial Slicing and Sampling (S³) для внутрипроцессного мониторинга операций микротравления, микрообработки и реконструкции 3D-изображений секционированной области. Как утверждает разработчик, величина максимального тока микротравления в 30 нА гарантирует высокопроизводительное протравливание больших областей.

Другие особенности системы включают в себя низкий вакуум для работы с непроводящими образцами без нанесения покрытий либо изменения образцов, систему нагнетания газа для операций травления и осаждения, большой предметный столик для работы с образцами размером до 150 мм, а также многообразие портов для ряда аналитических потребностей. Образцы загружаются посредством стандартного шлюзового модуля.

Компания JEOL осуществила продажу новых систем MultiBeam двум нанолабораториям, обе из которых получат выполненный заказ в начале 2008 года. Компания JEOL USA заключила партнерское соглашение с Университетом Южной Калифорнии (University of Southern California) и Бостонским колледжем (Boston College), которое, по ее словам, даст импульс исследовательским разработкам как на восточном, так и на западном побережье США.

Информация с сайта smalltimes.com.